HMT

Bộ phân tích khối tứ cực là một cụm lắp ráp chính xác bao gồm bộ lọc khối lượng với các giá đỡ trụ bằng gốm sứ gia công, bộ ion hóa va chạm electron với các sợi vonfram tráng oxit đôi và tùy chọn chỉ sử dụng Faraday hoặc cả Faraday và bộ nhân electron tấm kênh. Mặt bích lắp đặt bộ phân tích là loại mặt bích kiểu Conflat DN-35-CF (2¾”, 70 mm OD). Dải khối lượng là 100 amu.

HMT RC có chế độ kép độc đáo. Thiết bị cho phép người dùng chọn một chế độ để phân tích ở áp suất quá trình lên đến 5 x 10-3 mbar và chuyển sang chế độ RGA tiêu chuẩn để phân tích ở áp suất cơ bản của buồng quá trình xuống đến 2 x 10-13 mbar để chẩn đoán chân không. Hệ thống được hiệu chuẩn tại nhà máy cho hai áp suất quá trình do người dùng chỉ định, hoạt động trong quá trình argon ở 2 x 10-3 mbar và 5 x 10-3 mbar là tiêu chuẩn, và để hoạt động ở chân không cao.

Hệ thống Hiden HMT RC được điều khiển trực tiếp từ máy tính tương thích PC qua USB RS232 hoặc kết nối Ethernet, cung cấp khả năng thu thập dữ liệu đồng thời từ nhiều hệ thống. Không giới hạn số lượng hệ thống HMT có thể kết nối với một PC, hỗ trợ môi trường điều khiển quá trình. Đơn vị giao diện RC là một đơn vị gắn giá đỡ 19 inch cao 90 mm (2U). Nó được cấp nguồn chính và bao gồm đèn báo bật nguồn và trạng thái sợi đốt.

Phần mềm PC Windows®-MASsoft Professional cho phép thu thập dữ liệu nhanh chóng thông qua các tệp thu thập cấu hình người dùng hoặc các chế độ cài đặt sẵn được chọn bằng biểu tượng.

Đặc trưng

• Chế độ RGA chân không kép áp suất quy trình và cao để phân tích ở áp suất quy trình và ở chân không cao mà không cần bơm vi sai.
• Truy cập nhanh để hiển thị Histrogram, Phân tích xu hướng và đỉnh tín hiệu Analog
• Quét hỗn hợp. Phân tích xu hướng, Histogram và đỉnh Analog trong màn hình đa cửa sổ để kiểm tra
• Trừ nền thời gian thực.
• Hiển thị đồng thời theo thời gian thực của dữ liệu phân tích xu hướng đồ họa và bảng
• Thu thập dữ liệu từ nhiều hệ thống qua Ethernet.
• Căn chỉnh thang đo khối lượng tự động.
• Thư viện phổ khối tích hợp với chức năng chỉnh sửa đầy đủ
• Cơ sở xuất dữ liệu sang định dạng ASCII và tất cả các thiết bị Windows® để in/vẽ đồ
• Con trỏ để xác định chiều cao đỉnh dưới điều khiển chuột.