EP-Replayer

Hiden EP-Replayer cho phép người dùng IMP-EPD phát lại dữ liệu khắc đã ghi trước đó nhằm hỗ trợ xây dựng và tối ưu hóa công thức phát hiện điểm cuối. Người dùng có thể xác định các biến số trong mẫu công thức thuật toán, sau đó phát lại dữ liệu và theo dõi trực quan theo thời gian thực để xác định chính xác điểm cuối theo dự kiến tương ứng với dữ liệu và tham số đầu vào.

Tương tự như khi thu thập dữ liệu trực tiếp, bảng nhật ký dữ liệu sẽ lưu lại mốc thời gian, các thay đổi trạng thái và các chỉ số đếm quan trọng, và biểu đồ đánh dấu hiển thị sự thay đổi tín hiệu theo thời gian đến điểm cuối. EP-Replayer mang lại khả năng thử nghiệm linh hoạt các phương pháp xác định điểm cuối và tối ưu công thức quy trình nâng cao, với mức tiêu hao wafer tối thiểu, từ đó giúp xây dựng quy trình khắc ổn định, độ lặp lại cao, tiết kiệm chi phí.

Tính năng

• Xử lý lại dữ liệu khắc trước đó theo thời gian thực
• Điểm cuối được tính toán và hiển thị trong MASsoft
• Tối ưu hóa công thức chỉ từ một lần khắc ban đầu
• Thử nghiệm các phương pháp phát hiện điểm cuối và tính năng thuật toán nâng cao
• Giảm thiểu rủi ro lỗi điểm cuối và hạn chế loại bỏ wafer lỗi
• Điều chỉnh tham số điểm cuối và phát lại dữ liệu để xử lý sự cố mà không cần thêm bước khắc nào

Điều khiển

• MASsoft hỗ trợ chuyển đổi dữ liệu thành tệp phát lại tương thích một cách nhanh chóng
• Vận hành đơn giản thông qua giao diện web HAL10 UI của Hiden
• Tương thích hoàn toàn với các hệ thống HAL10 IMP-EPD hiện có
• Có thể vận hành độc lập mà không cần kết nối với thiết bị khắc
• Hỗ trợ điều chỉnh trực tiếp công thức điểm cuối trực tiếp trong MASsoft