PSM

Máy khối phổ thu mẫu Plasma

  • Model: PSM
  • Manufacturer: Hiden Analytical
Hệ thống phân tích ion plasma Hiden PSM là một máy phổ khối tứ cực được thiết kế để phân tích trực tiếp các ion plasma và các hạt trung tính trong cả ứng dụng xác định đặc tính plasma và chẩn đoán quy trình.
Ứng dụng:
  • Xác định đặc tính Plasma
  • Xử lý bằng Plasma và Tích lớp thay thế nguyên tử (ALE)
  • HiPIMS
  • Lớp phủ Carbon dạng kim cương (DLC)
  • Lớp phủ lắng đọng bằng laser xung (PLD)
  • Lắng đọng magnetron DC màng SiBCN
Danh mục:

Hệ thống PSM bao gồm quang học trích ly/cản ion tích hợp ion hóa va chạm electron, bộ phân tích khối lọc ba tầng và bộ phân tích năng lượng dòng. Bộ phân tích năng lượng ion cho phép đo năng lượng ion và phân bố năng lượng ion đối với các ion plasma đã chọn. Quang học trích ly/cản ion giúp loại bỏ ảnh hưởng của phổ nền gây ra bởi các ion plasma, do đó tăng độ nhạy tổng thể đối với các loài trung tính được lấy mẫu từ plasma so với RGA thông thường.

Việc điều khiển ion hóa va chạm electron của PSM cho phép phân tích gốc trung tính bằng phương pháp đo khối phổ ngưỡng ion hóa tiệm cận xuất hiện (TIMS).

PSM được cung cấp hoàn chỉnh trong một vỏ bơm vi sai UHV nhỏ gọn với lỗ lấy mẫu có thể thay đổi. Mặt bích lắp PSM là loại DN-63-CF, mặt bích loại Conflat OD 114 mm (4½ “) hoặc phụ kiện loại DN-40-KF với bộ chuyển đổi. Bộ chuyển đổi không được bao gồm.

Một nhóm bơm turbomolecular có công suất 60 l / s được bao gồm để vận hành khối phổ UHV và một đồng hồ đo chân không tiêu chuẩn UHV với rơle cảm biến áp suất được bao gồm để bảo vệ áp suất quá mức của khối phổ.

Lỗ lấy mẫu có thể thay thế được gắn ở đầu dò. Lỗ thông tiêu chuẩn chứa chế độ áp suất lên đến 0,5 mbar với bơm vi sai 60 l / s. Các tùy chọn mở rộng phạm vi này lên 2,0 mbar, 20 mbar, 100 mbar và lấy mẫu khí quyển.

Hệ thống PSM được điều khiển trực tiếp bằng PC, phần mềm PC Windows®-MASsoft Professional được bao gồm theo tiêu chuẩn và cung cấp các quy trình thu thập và trình bày dữ liệu toàn diện.

Tính năng của hệ thống

  • Phân tích ion dương của ion plasma quá trình.
  • Phân tích năng lượng ion plasma với bộ phân tích năng lượng Bessel Box tích hợp.
  • Chế độ RGA tích hợp để đo trung tính quá trình, nhiễm bẩn quá trình và phát hiện rò rỉ.
  • Tùy chọn kích hoạt tín hiệu có thể lập trình cho plasma xung.
  • Phần mềm PC MASsoft Professional.

Đánh giá sản phẩm

Review PSM

5 0% | 0 đánh giá
4 0% | 0 đánh giá
3 0% | 0 đánh giá
2 0% | 0 đánh giá
1 0% | 0 đánh giá
Đánh giá PSM
Gửi ảnh thực tế
0 ký tự (Tối thiểu 10)
    +

    Chưa có đánh giá nào.

    Chưa có bình luận nào

    Sản phẩm liên quan

    Reecotech cung cấp các sản phẩm và dịch vụ chất lượng cao, góp phần bảo vệ môi trường và phát triển bền vững.

    Máy đo độ đục để bàn Turb 750 T

    Máy đo độ đục để bàn Turb 750 T

    Đo độ đục đơn giản mà vẫn đảm bảo chất lượng dữ liệu
    tìm hiểu thêm
    máy đo màu cod 910

    Máy đo màu COD 910

    Máy đo đơn thông số COD cầm tay hiện trường
    tìm hiểu thêm
    máy đo màu clo 900

    Máy đo màu Clo 900

    Máy đo đơn thông số Chlorine (Cl) cầm tay hiện trường
    tìm hiểu thêm
    máy đo màu cầm tay

    Máy đo màu pHotoFlex

    Máy đo màu cầm tay dành cho giám sát môi trường
    tìm hiểu thêm
    máy quang phổ 9800

    Máy quang phổ 9800

    Máy đo đa chỉ tiêu cầm tay dùng để kiểm tra chất lượng nước tại hiện trường và phòng thí nghiệm
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích dòng chảy liên tục

    Hệ thống phân tích dòng chảy liên tục FS3700

    Công cụ phân tích hóa học ướt tự động, hiệu quả, linh hoạt và dễ sử dụng
    tìm hiểu thêm
    ChromaTHC

    ChromaTHC

    Hệ thống phân tích tổng Hydrocacbon (THC)
    tìm hiểu thêm
    chromaPID : BTEX analyzer with PID detector

    chromaPID

    Hệ thống GC tự động giám sát liên tục các hợp chất VOCs tích hợp đầu dò PID
    tìm hiểu thêm
    error: Content is protected !!