RGA Series

Kiểm tra các thành phần hiện có trong buồng hoặc thoát ra từ một quá trình

  • Model: RGA Series
  • Manufacturer: Hiden Analytical

Với khả năng đo áp suất riêng phần từ UHV (chân không cực cao) lên đến 0,01 Pa (10-4 mbar). Hệ thống lấy mẫu với bơm vi sai mở rộng phạm vi áp suất lấy mẫu, cho phép giám sát quá trình chân không và phân tích khí hiệu quả hơn khi cần thiết.

Tất cả máy phân tích khí dư Hiden đều được kiểm tra ứng dụng và hiệu chuẩn kỹ lưỡng để đảm bảo hiệu suất cao nhất. Chúng được bảo hành 3 năm và hỗ trợ dịch vụ trọn đời.

Ứng dụng

  • Phân tích khí dư
  • Kiểm tra rò rỉ
  • Phản xạ
  • Nghiên cứu thoát khí
  • Chu kỳ nung
  • Hiệu suất bơm
  • Chất gây ô nhiễm khí quy trình
  • Lớp phủ quang học màng mỏng
Category:

Dòng RGA của Hiden bao gồm ba cấp độ thông số kỹ thuật:

HALO – để phân tích khí dư.

  • Dấu vân tay chân không – so sánh và phân tích các loài khí dư/hơi của buồng chân không.
  • Phân tích xu hướng – Theo dõi áp suất riêng phần của nhiều loài trong thời gian thực.
  • Phát hiện rò rỉ – Máy phân tích khí dư Hiden có độ nhạy tuyệt vời đối với Helium.
  • Các tùy chọn dải khối lượng 200 và 300 AMU và đo áp suất riêng phần đến 2×10-13 mbar.

3F – Máy phân tích khối lượng ba bộ lọc cho các ứng dụng phân tích.

  • Công nghệ ba bộ lọc 3F cung cấp dải khối lượng mở rộng, khả năng phân giải khối lượng, độ nhạy nâng cao cho các loài khối lượng lớn và khả năng chống nhiễm bẩn được cải thiện.
  • Các tùy chọn dải khối lượng 300 và 510 AMU và đo áp suất riêng phần đến 2×10-14 mbar

3F- PIC Bỏ phiếu ion xung phát hiện cho các nghiên cứu sự kiện nhanh.

  • Phát hiện đếm ion xung cung cấp dải động liên tục trong bảy thập kỷ với khả năng phân tích đầy đủ đến 12 thập kỷ.
  • Các tùy chọn dải khối lượng 300 và 510 AMU và đo áp suất riêng phần đến 5×10-15 mbar

Tính năng tiêu chuẩn của dòng RGA:

  • Truy cập nhanh để hiển thị Biểu đồ, Phân tích xu hướng và Đỉnh analog.
  • Quét chế độ hỗn hợp, Phân tích xu hướng, Biểu đồ và Đỉnh analog trong màn hình đa cửa sổ.
  • Trừ nền thời gian thực.
  • Nhận dạng loài chân không mới với phân tích tự động.
  • Hiển thị đồng thời theo thời gian thực của dữ liệu phân tích xu hướng đồ họa và bảng.
  • Thu thập dữ liệu từ nhiều hệ thống qua Ethernet.
  • Căn chỉnh thang khối tự động.
  • Thư viện phổ khối tích hợp với đầy đủ công cụ chỉnh sửa.
  • Chức năng xuất dữ liệu sang định dạng ASCII và tất cả các thiết bị Windows® để in/vẽ.
  • Giao diện Socket để điều khiển ứng dụng và liên kết dữ liệu động với các ứng dụng tương thích với Windows®.
Mass Range 200 amu, 300 or 510 amu.
Maximum Operating Pressure:
HALO and HAL/3F: 1 x 10-4 mbar with Faraday detector.
HAL3F/PIC 5 x 10-6    mbar with pulse ion counting detector.
Resolution:
HALO and
HAL/3F, HAL/3F PIC 510 amu 10% Valley between adjacent peaks of equal height throughout the mass range. Software adjustable.
HAL/3F, HAL/3F PIC 300 amu 5% Valley between adjacent peaks of equal height throughout the mass range. Software adjustable
Detector:
HALO and HAL/3F Twin detector: Faraday cup and electron multiplier detector.
HAL/3F PIC PIC: Pulse ion counting single channel electron multiplier
Minimum Detectable Partial Pressure
HALO 1x 10-11 mbar with Faraday detector

2x 10-13 mbar with Channelplate detector 

HAL/3F 2 x 10-12 mbar with Faraday detector

2 x 10-14 mbar with Channeltron detector

HAL/3F PIC 5 x 10-15 mbar with Channeltron detector 
Measurement speed:
Maximum measurement speed 650 measurements per second.
Ion Source:
HALO and HAL/3F  Radially symmetric, UHV compatible ion source.
HAL/3F PIC Low profile ion source, UHV compatible.
Filament Twin filament.

Oxide coated iridium is standard.

Ion Source control Option for HALO. Standard for 3F and 3F/PIC 
Electron emission Software variable 1 µA to 2 mA
Electron energy Software variable 0 to 150 eV
Ion energy Software variable 0 to 10 eV 
PC Software MASsoft  Professional
Communications to PC: RS232, USB 2.0, 10/100 Base-T LAN
RC interface unit I/O 5 configurable I/O TTL lines, 2 analog inputs, 2 trip relay outputs, external trip input and over-pressure trip output.

3 RS485 (multi protocol) to interface with a wide range of external devices, MFC’s for example.

8 digital inputs compatible with 5 V and 24 V logic levels. 8 open collector digital outputs (30 V, 500 mA max)

4, or 8 channel analog outputs, 0-10 V, 14bit (optional).

Power  requirement 100-240 V AC, 50-60 Hz, 250 VA.

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis – RGA | For Applications in a Vacuum Environment

Tải xuống

Đánh giá sản phẩm

Review RGA Series

5 0% | 0 đánh giá
4 0% | 0 đánh giá
3 0% | 0 đánh giá
2 0% | 0 đánh giá
1 0% | 0 đánh giá
Đánh giá RGA Series
Gửi ảnh thực tế
0 ký tự (Tối thiểu 10)
    +

    There are no reviews yet.

    Chưa có bình luận nào

    Sản phẩm liên quan

    Hệ thống GC/PID tự động giám sát BTEX và 1,3-Butadiene airTOXIC BTX PID

    Hệ thống GC/PID tự động giám sát BTEX và 1,3-Butadiene airTOXIC BTX PID

    giám sát tự động các hợp chất BTEX (Benzene, Toluene, Ethylbenzene, Xylene) và 1,3-Butadiene trong không khí, nước và đất
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống GC/FID giám sát BTEX tự động airmoVOC BTX

    Hệ thống GC/FID giám sát BTEX tự động airmoVOC BTX

    phân tích và giám sát nồng độ vết của các hợp chất BTEX trong không khí, nước và đất
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích Hydrocacbon bay hơi nặng AirmoVOC C6-C12

    Hệ thống phân tích Hydrocacbon bay hơi nặng AirmoVOC C6-C12

    Phân tích lên đến 53 hợp chất trong khoảng C6 đến C12, phù hợp cho quan trắc môi trường, giám sát khí thải công nghiệp và kiểm soát chất lượng không khí
    tìm hiểu thêm
    airmoVOC 624

    Hệ thống phân tích Hydrocarbon nhẹ và BTEX – airmoVOC 624

    phân tích lên đến 49 hợp chất từ phương pháp TO14 hoặc PAMS
    tìm hiểu thêm
    airmoOVOC

    Hệ thống phân tích hợp chất VOC oxy hóa nhẹ – airmoOVOC

    phân tích các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi có chứa oxy (VOCs oxy hóa nhẹ) trong không khí hoặc khí tinh khiết
    tìm hiểu thêm
    airmoF

    Hệ thống phân tích Formaldehyde trực tuyến tự động airmoF

    Giám sát liên tục và theo thời gian thực nồng độ formaldehyde trong nhiều môi trường khác nhau
    tìm hiểu thêm
    airmoVOC C2-C6

    Máy phân tích hydrocarbon bay hơi nhẹ airmoVOC C2-C6

    Đo lường các hợp chất hydrocarbon bay hơi nhẹ trong phạm vi từ C2 đến C6
    tìm hiểu thêm
    energyMEDOR

    Hệ thống phân tích và giám sát hợp chất lưu huỳnh trong khí tự nhiên energyMEDOR

    Phân tích và giám sát trực tuyến các hợp chất lưu huỳnh trong khí tự nhiên và nhiên liệu khí
    tìm hiểu thêm

    ĐĂNG KÝ NHẬN NỘI DUNG

    Quý Khách hàng đang có nhu cầu cần sao chép nội dung, vui lòng để lại thông tin, chúng tôi sẽ phản hồi trong thời gian sớm nhất. Trân trọng cảm ơn!