HMT

Hệ thống RGA chế độ kép dùng trong chuẩn đoán chân không và giám sát quá trình

  • Model: HMT RC
  • Manufacturer: Hiden Analytical

Hệ thống Hiden HMT RC được thiết kế dành cho các ứng dụng giám sát quá trình chân không, bao gồm theo dõi xu hướng khí quy trình, phát hiện rò rỉ và khảo sát chân không.

Ứng dụng:

  • Phân tích khí dư
  • Xử lý chân không
  • XPS gần áp suất khí quyển, APXPS
  • Mạ quang học màng mỏng
  • CVD / MOCVD / ALD
Danh mục:

Bộ phân tích khối tứ cực là một cụm lắp ráp chính xác bao gồm bộ lọc khối lượng với các giá đỡ trụ bằng gốm sứ gia công, bộ ion hóa va chạm electron với các sợi vonfram tráng oxit đôi và tùy chọn chỉ sử dụng Faraday hoặc cả Faraday và bộ nhân electron tấm kênh. Mặt bích lắp đặt bộ phân tích là loại mặt bích kiểu Conflat DN-35-CF (2¾”, 70 mm OD). Dải khối lượng là 100 amu.

HMT RC có chế độ kép độc đáo. Thiết bị cho phép người dùng chọn một chế độ để phân tích ở áp suất quá trình lên đến 5 x 10-3 mbar và chuyển sang chế độ RGA tiêu chuẩn để phân tích ở áp suất cơ bản của buồng quá trình xuống đến 2 x 10-13 mbar để chẩn đoán chân không. Hệ thống được hiệu chuẩn tại nhà máy cho hai áp suất quá trình do người dùng chỉ định, hoạt động trong quá trình argon ở 2 x 10-3 mbar và 5 x 10-3 mbar là tiêu chuẩn, và để hoạt động ở chân không cao.

Hệ thống Hiden HMT RC được điều khiển trực tiếp từ máy tính tương thích PC qua USB RS232 hoặc kết nối Ethernet, cung cấp khả năng thu thập dữ liệu đồng thời từ nhiều hệ thống. Không giới hạn số lượng hệ thống HMT có thể kết nối với một PC, hỗ trợ môi trường điều khiển quá trình. Đơn vị giao diện RC là một đơn vị gắn giá đỡ 19 inch cao 90 mm (2U). Nó được cấp nguồn chính và bao gồm đèn báo bật nguồn và trạng thái sợi đốt.

Phần mềm PC Windows®-MASsoft Professional cho phép thu thập dữ liệu nhanh chóng thông qua các tệp thu thập cấu hình người dùng hoặc các chế độ cài đặt sẵn được chọn bằng biểu tượng.

Đặc trưng

  • Chế độ RGA chân không kép áp suất quy trình và cao để phân tích ở áp suất quy trình và ở chân không cao mà không cần bơm vi sai.
  • Truy cập nhanh để hiển thị Histrogram, Phân tích xu hướng và đỉnh tín hiệu Analog
  • Quét hỗn hợp. Phân tích xu hướng, Histogram và đỉnh Analog trong màn hình đa cửa sổ để kiểm tra
  • Trừ nền thời gian thực.
  • Hiển thị đồng thời theo thời gian thực của dữ liệu phân tích xu hướng đồ họa và bảng
  • Thu thập dữ liệu từ nhiều hệ thống qua Ethernet.
  • Căn chỉnh thang đo khối lượng tự động.
  • Thư viện phổ khối tích hợp với chức năng chỉnh sửa đầy đủ
  • Cơ sở xuất dữ liệu sang định dạng ASCII và tất cả các thiết bị Windows® để in/vẽ đồ
  • Con trỏ để xác định chiều cao đỉnh dưới điều khiển chuột.

 

Mass Range: 100 amu
Maximum  Operating  Pressure: 5 x 10-3 mbar.
Resolution: 10% Valley between adjacent peaks of equal height throughout the mass range.

Software adjustable.

Detector: Faraday cup or dual Faraday Electron Multiplier detector
Minimum Detectable Partial Pressure: 2 x 10-11 mbar in RGA mode.

2 x 10-13 mbar with Channelplate detector 5 5x 10-8  mbar in Process pressure mode.

Measurement speed
Maximum measurement speed: 650 measurements per second.
Ion Source: Electron bombardment type, radially symmetric.
Filament: Twin filament.

Oxide coated iridium is standard.

Sensitivity  control: Peak height sensitivity factor adjustable in the range
Analyser mounting flange: DN-35-CF (2¾”/70 mm O.D. Conflat-type).
Analyser insertion length from mounting flange face: HMT 100-RC : 138 mm 

HMT 101-RC : 155 mm

RF head dimensions: Height    – 117 mm, Width – 104 mm, Depth – 195 mm

Depth is distance from vacuum face of analyser mounting flange.

RC interface unit dimensions: Height:  90 mm/2U. Width: 19″ rack mounting. Depth: 240 mm 
Cable lengths
RC interface to RF head: 3 m standard.

Longer lengths to 40 m available

RC interface to PC: Up to 15 m with RS232 link.

Up to 750 m with unbridged Ethernet link.

5 m Ethernet and 5 m RS232 cables included.

PC Software: MASsoft  Professional
Communications to PC: RS232, USB 2.0, 10/100 Base-T LAN
RC interface unit I/O: 5 configurable I/O TTL lines, 2 analogue inputs, 2 trip relay outputs, external trip input and over-pressure trip output.

3 RS485 (multi protocol) to interface with a wide range of external devices, MFCs for example.

8 digital inputs compatible with 5 V and 24 V logic levels. 8 open collector digital outputs (30 V, 500 mA max)

4 or 8 channel analogue outputs, 0-10 V, 14 bit (optional).

Power   requirement: 100-240V AC, 50-60 Hz, 250 VA.

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis – RGA | For Applications in a Vacuum Environment

Tải xuống

Đánh giá sản phẩm

Review HMT

5 0% | 0 đánh giá
4 0% | 0 đánh giá
3 0% | 0 đánh giá
2 0% | 0 đánh giá
1 0% | 0 đánh giá
Đánh giá HMT
Gửi ảnh thực tế
0 ký tự (Tối thiểu 10)
    +

    Chưa có đánh giá nào.

    Chưa có bình luận nào

    Sản phẩm liên quan

    Reecotech cung cấp các sản phẩm và dịch vụ chất lượng cao, góp phần bảo vệ môi trường và phát triển bền vững.

    HPR-20 OEMS

    HPR-20 OEMS

    Hệ thống khối phổ phân tích liên tục khí và hơi thoát ra trong quá trình điện hoá.
    tìm hiểu thêm
    công nghệ vật liệu nano fib sims

    FIB-SIMS

    Công nghệ, vật liệu Nano
    tìm hiểu thêm
    CATLAB-PCS

    CATLAB-PCS

    Hệ thống đo lường đặc tính xúc tác, động học và nhiệt động học
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích định lượng các thành phần của khí

    QGA 2.0

    Hệ thống phân tích định lượng các thành phần của khí
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích khí chuyên sâu

    HPR-20 R&D

    Hệ thống phân tích khí ứng dụng trong các nghiên cứu chuyên sâu
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích khí HPR-20 TMS

    HPR-20 TMS

    Khối phổ phân tích thành phần chuyển tiếp cho các quá trình khí diễn ra nhanh
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích khí HPR-20 EGA

    HPR-20 EGA

    Hệ thống phân tích khí thoát ra trong các quá trình nhiệt (TGA/MS)
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích khí để phân tích các đồng vị hydro

    HPR-20 DLS

    Hệ thống phân tích khí để phân tích các đồng vị hydro và khí nhẹ với độ phân giải và độ nhạy cực cao
    tìm hiểu thêm
    error: Content is protected !!