Hệ thống máy phân tích Hiden MAXIM SIMS là một máy phân tích khối phổ ion thứ cấp ba bộ lọc hiện đại dành cho các ứng dụng SIMS và SNMS tĩnh và động.
Hệ thống phân tích MAXIM bao gồm một bộ lọc năng lượng tích hợp để thu nhận ion ở góc 30 độ so với trục thăm dò, hệ thống quang học chiết xuất ion SIMS truyền qua cao, bộ lọc khối lượng ba chiều, máy детектор đếm ion xung và bộ điều khiển điện tử với phần mềm PC MASsoft Professional tương thích với Windows®.
MAXIM có độ nhạy cao hơn 3 triệu lần tính trên mỗi nano ampe dòng điện chùm sơ cấp khi theo dõi ion nguyên tử nhôm phát ra từ mục tiêu nhôm bị bắn phá bởi chùm Argon sơ cấp 5keV và hiệu suất hữu ích cho bo trong silicon vượt quá 0,02% khi bị bắn phá bởi oxy ở 5keV.
Máy phân tích bao gồm một nguồn ion va chạm điện tử gắn phía trước cung cấp khả năng phân tích khối phổ trung tính thứ cấp độ nhạy cao để phân tích định lượng các màng mỏng kim loại, hợp kim và vật liệu điện môi.
Các máy phân tích Hiden MAXIM được cung cấp lắp ráp hoàn chỉnh trên mặt bích gắn loại Conflat DN-100-CF (OD 6 inch). Cần có đồng hồ đo chân không tiêu chuẩn UHV với khóa liên động cảm biến áp suất để bảo vệ máy phân tích khối phổ. Đồng hồ đo tổng áp suất UHV được cung cấp theo yêu cầu như một phụ kiện tùy chọn.
Dò Hiden MAXIM được điều khiển trực tiếp bằng PC, phần mềm PC MASsoft Professional Windows® được bao gồm theo tiêu chuẩn và cung cấp các thói quen thu thập và trình bày dữ liệu toàn diện.
Các tính năng tiêu chuẩn của hệ thống
- Phân tích ion dương và âm
- Hệ thống quang học chiết xuất ion SIMS truyền qua cao
- SNMS để phân tích định lượng tại ma trận
- Đầu ra tiềm năng mục tiêu để đạt hiệu quả SIMS và SNMS tối ưu.
- Đầu ra để điều khiển quét súng ion sơ cấp với khả năng lập trình cửa người dùng để xác định thu thập dữ liệu tối ưu trong các ứng dụng lập hồ sơ độ sâu.
- Phần mềm PC MASsoft Professional tương thích với Windows®, Ethernet, LAN, USB và RS232
Review MAXIM
Chưa có đánh giá nào.