HPR-30 Series

Hệ thống xử lý và phân tích khí dư cho phân tích quá trình chân không (RGA)

  • Model: HPR-30 Series
  • Manufacturer: Hiden Analytical

Hệ thống phân tích khí dư HPR-30 được thiết lập để phân tích khí và hơi trong các quá trình chân không và để chẩn đoán chân không với khả năng lấy mẫu từ chân không cao đến áp suất khí quyển. Hệ thống có thể cấu hình hoàn toàn cho các ứng dụng quy trình cá nhân như CVD, ALD, khắc plasma, MOCVD, độ tinh khiết khí quy trình và giám sát chất gây ô nhiễm trong quá trình.

Ứng dụng:

  • Đặc trưng Plasma
  • Sấy thăng hoa
  • CVD / MOCVD / ALD
  • Gia công chân không
  • Phân tích khí dư
  • XPS gần khí quyển, APXPS
  • Lớp phủ quang học màng mỏng
Danh mục:

Dòng máy phân tích quá trình chân không Hiden HPR-30 là hệ thống phổ khối tứ cực được thiết kế để phân tích khí quá trình, sản phẩm phản ứng, giám sát tạp chất và phát hiện rò rỉ trong các quá trình chân không.

Hệ thống lấy mẫu được cấu hình để cung cấp độ nhạy và phản hồi tối ưu trong phạm vi áp suất quá trình.

Các cấu hình lấy mẫu có sẵn:

  • HPR-30 Cart: Được trang bị cổng lấy mẫu dẫn điện kép, tự hào có lỗ mở quay ngược được kết nối trực tiếp để lấy mẫu trong vùng quá trình. Điều này đảm bảo độ chính xác dữ liệu vô song và xác minh trạng thái quá trình nhanh chóng.

  • HPR-30 Multi Inlet Cart: Có nhiều cổng vào thích ứng, mỗi cổng dài 1m, được ghép nối với kết nối đa van ba chiều. Nó có tính năng chuyển đổi tự động giúp thuận lợi cho việc phân tích trên một phổ áp suất quá trình rộng.

  • HPR-30 SGL: Được thiết kế với một đường lấy mẫu đơn, được gia nhiệt, lý tưởng cho các trường hợp có không gian hạn chế cho các liên kết lấy mẫu. Đặc biệt khi việc phân tích các sản phẩm phụ ít bay hơi hơn yêu cầu một đầu vào được làm nóng liên tục. Ngoài ra, nó còn cung cấp tùy chọn thu thập dữ liệu theo thời gian thực, làm cho nó trở nên lý tưởng để giám sát các quá trình lắng đọng xung.

Một tính năng tiên tiến có sẵn là hệ thống ba bộ lọc tứ cực Hiden 3F. Điều này cung cấp độ nhạy cao hơn, với mức độ phát hiện xuống thang ppb và khả năng chống ô nhiễm vượt trội. Điều này làm cho nó đặc biệt mạnh mẽ trong việc phân tích các khí khắc nghiệt trong các ứng dụng CVD và RIE.

HPR-30 Vacuum Process Gas Analyser

Tải xuống

Đánh giá sản phẩm

Review HPR-30 Series

5 0% | 0 đánh giá
4 0% | 0 đánh giá
3 0% | 0 đánh giá
2 0% | 0 đánh giá
1 0% | 0 đánh giá
Đánh giá HPR-30 Series
Gửi ảnh thực tế
0 ký tự (Tối thiểu 10)
    +

    Chưa có đánh giá nào.

    Chưa có bình luận nào

    Sản phẩm liên quan

    máy quang trắc ngọn lửa xung

    Máy đo quang trắc ngọn lửa xung (PFPD)

    Độ chọn lọc và độ nhạy vượt trội cho phép phân tích dễ dàng lưu huỳnh, phốt pho và 26 nguyên tố khác.
    tìm hiểu thêm
    Máy đo độ đục để bàn Turb 750 T

    Máy đo độ đục để bàn Turb 750 T

    Đo độ đục đơn giản mà vẫn đảm bảo chất lượng dữ liệu
    tìm hiểu thêm
    máy đo màu cod 910

    Máy đo màu COD 910

    Máy đo đơn thông số COD cầm tay hiện trường
    tìm hiểu thêm
    máy đo màu clo 900

    Máy đo màu Clo 900

    Máy đo đơn thông số Chlorine (Cl) cầm tay hiện trường
    tìm hiểu thêm
    máy đo màu cầm tay

    Máy đo màu pHotoFlex

    Máy đo màu cầm tay dành cho giám sát môi trường
    tìm hiểu thêm
    máy quang phổ 9800

    Máy quang phổ 9800

    Máy đo đa chỉ tiêu cầm tay dùng để kiểm tra chất lượng nước tại hiện trường và phòng thí nghiệm
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích dòng chảy liên tục

    Hệ thống phân tích dòng chảy liên tục FS3700

    Công cụ phân tích hóa học ướt tự động, hiệu quả, linh hoạt và dễ sử dụng
    tìm hiểu thêm
    ChromaTHC

    ChromaTHC

    Hệ thống sắc ký khí phân tích tổng Hydrocacbon (THC)
    tìm hiểu thêm
    error: Content is protected !!