HPR-30 RGA Cart

Thiết bị phân tích khí kiểm soát quá trình với hiệu suất cao dành cho các phép quan trắc theo trình tự mảng mỏng, plasma và chân không

Model: HPR-30 RGA Cart
Manufacturer: Hiden Analytical
Tính năng:
  • Gói hệ thống tiêu chuẩn bao gồm tất cả phần cứng cần thiết để phân tích: Agilent GC, Bộ sục và bẫy khí 4760 Purge-and-Trap OI, Đầu dò 4450 Tandem PID / FID OI, cột và các cấu thành tiêu chuẩn khác.
  • Bộ cô đặc mẫu cung cấp tính năng Cyclone Water Management, làm nóng và làm mát bẫy nhanh chóng, đường dẫn mẫu Silcosteel, thiết kế bộ lọc sparge bảo vệ
  • Sử dụng Tandem PID / FID để có độ nhạy và độ tuyến tính cao
  • Thiết kế cửa sổ ẩn PID ngăn cản đèn bám bẩn
  • Tùy chọn cột mao quản
  • Tùy chọn các bộ lấy mẫu tự động có sẵn để phân tích tự động
  • Tùy chọn đo pH tự động
Danh mục:

Bộ sản phẩm HPR 30 của Hiden là thiết bị phân tích khí kiểm soát quá trình với hiệu suất cao dành cho các phép quan trắc theo trình tự mảng mỏng, plasma và chân không.
Dành cho việc kiểm tra tất cả các thành phần có mặt trong khoang rỗng hoặc thoát ra từ hệ thống:

  • CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
  • Xi mạ chân không/khắc plasma
  • Lắng đọng phún xạ
  • Khảo sát ô nhiễm
  • Base Pressure Fingerprint
  • Phát hiện rò rỉ/lỗ rò ảo/giải hấp
  • Hiệu suất bơm /nhả khí/nung chân không/
  • Khoang rỗng/tạp chất khí quá trình

    Ứng dụng điển hình
    + Freeze drying
    + CVD/ MOCVD/ ALCVD

The HPR-30 RGA Cart includes:

Compact mobile cart and sampling inlet with flexible height adjustment for coupling to multiple chamber types.

  • Re-entrantprobe with user changeable sampling orif

For optimum analysis sensitivity the sampling orifice size is process matched to enable sampling up to the maximum process pressure. A sampling orifice is supplied to match the user specified process pressure in the range: 10-3 mbar to 5 mbar.

  • Ahigh conductance inlet for residual gas analysis at chamber base pressure from ultra high vacuum, and up to 10-4
  • Thesampling inlet includes manually operated valves, or the pneumatic operated valve option for automatic c
  • Mountedon a compact mobile cart with a user height adjustable sampling point in the range from 821 mm up to 1476 mm. The mounting flange type is DN-35-CF with adapters available to suit other types of process chamber flanges as required, KF 40 for exa

Vacuum System  all dry turbomolecular pump set.

UHV 80 l/s turbomolecular pump set, providing an ultra high vacuum environment for mass spectrometer operation with:

  • 80l/s turbomolecular pump with dry membrane foreline pump
  • Turbocontroller
  • Auto-ventvalve with delay timer
  • Splintershield
  • Vacuumprotection module
  • UHVvacuum manifold
  • Controllerand total pressure gauge for vacuum integrity confirmation and interlock protection of the mass spectrometer in case of over pressure
  • Allcontrollers integrated within the base of the mobile cart

Quadrupole Mass Spectrometer

HAL 201 RC with dual Faraday/Electron Multiplier Detector

  • Atomicmass range: 200 amu (300 amu, 510 amu and 1000 amu options)
  • Minimumdetectable partial pressure: 5 x 10-14 mbar
  • Resolution:10% valley as per AVS standard (fully software adjustable)
  • Scanspeed: Up to 650 measurements per second
  • Peakratio reproducibility: +/- 5 %
  • Ionsource: dual filament, yttriated iridium (software selectable)
  • Softionisation mode
  • Operatingmodes include a fast set up scan gallery for: leak detection, histogram and trend analysis
  • I/O:3 x relay contacts, 5 x TTL lines, 2 x analogue inputs
  • RS232, Ethernet, or USB integrated comm
  • MASsoftProfessional PC software – Windows compatible

Power Supply: 110…230 V AC, 50…60 Hz

Đánh giá sản phẩm

Review HPR-30 RGA Cart

5 0% | 0 đánh giá
4 0% | 0 đánh giá
3 0% | 0 đánh giá
2 0% | 0 đánh giá
1 0% | 0 đánh giá
Đánh giá HPR-30 RGA Cart
Gửi ảnh thực tế
0 ký tự (Tối thiểu 10)
    +

    Chưa có đánh giá nào.

    Chưa có bình luận nào

    Sản phẩm liên quan

    Reecotech cung cấp các sản phẩm và dịch vụ chất lượng cao, góp phần bảo vệ môi trường và phát triển bền vững.

    máy quang trắc ngọn lửa xung

    Máy đo quang trắc ngọn lửa xung (PFPD)

    Độ chọn lọc và độ nhạy vượt trội cho phép phân tích dễ dàng lưu huỳnh, phốt pho và 26 nguyên tố khác.
    tìm hiểu thêm
    Máy đo độ đục để bàn Turb 750 T

    Máy đo độ đục để bàn Turb 750 T

    Đo độ đục đơn giản mà vẫn đảm bảo chất lượng dữ liệu
    tìm hiểu thêm
    máy đo màu cod 910

    Máy đo màu COD 910

    Máy đo đơn thông số COD cầm tay hiện trường
    tìm hiểu thêm
    máy đo màu clo 900

    Máy đo màu Clo 900

    Máy đo đơn thông số Chlorine (Cl) cầm tay hiện trường
    tìm hiểu thêm
    máy đo màu cầm tay

    Máy đo màu pHotoFlex

    Máy đo màu cầm tay dành cho giám sát môi trường
    tìm hiểu thêm
    máy quang phổ 9800

    Máy quang phổ 9800

    Máy đo đa chỉ tiêu cầm tay dùng để kiểm tra chất lượng nước tại hiện trường và phòng thí nghiệm
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích dòng chảy liên tục

    Hệ thống phân tích dòng chảy liên tục FS3700

    Công cụ phân tích hóa học ướt tự động, hiệu quả, linh hoạt và dễ sử dụng
    tìm hiểu thêm
    ChromaTHC

    ChromaTHC

    Hệ thống phân tích tổng Hydrocacbon (THC)
    tìm hiểu thêm
    error: Content is protected !!