ESPion

Hệ thống ESPion sử dụng các mô hình phân tích plasma tiêu chuẩn Orbital Motion Limited (OML) và Allen Boyd Reynolds (ABR).

Bộ truyền động Z tự động Hiden cho phép đo phân giải theo không gian trên toàn bộ thể tích plasma. Các tùy chọn dịch chuyển Z tiêu chuẩn là: 300, 600 và 900 mm.

THÔNG SỐ CỦA PLASMA ĐƯỢC ĐO

• Mật độ ion và electron trong phạm vi 10^14 – 10^19 m^-3
• Nhiệt độ electron lên đến 10 eV
• Điện thế plasma
• Điện thế floating
• Chiều dài Debye
• Luồng ion
• EEDF (Electron Energy Distribution Function – hàm phân bố năng lượng electron)

Mô hình plasma được sử dụng: Orbital Motion Limited (OML) và Allen Boyd Reynolds (ABR). Hàm phân bố năng lượng electron (EEDF) được xác định bằng phương pháp Druyvestein.

Đặc điểm của đầu dò Hiden ESPION RF/DC

• Bù nhiễu RF: Một điện cực tích hợp cảm biến điện áp RF, trực tiếp làm lệch đầu dò để cải thiện đáng kể khả năng bù nhiễu RF của mạch trở kháng cao.
• Làm mát bằng khí: Hệ thống làm mát bằng khí tích hợp bên trong thân đầu dò đảm bảo hoạt động tối ưu của mạch trở kháng cao trong môi trường nhiệt độ cao.
• Đầu dò tham chiếu: Một điện cực thứ hai tích hợp bù cho các dao động tần số thấp do sự dịch chuyển điện thế plasma trong các lò phản ứng có điểm tham chiếu đất kém và khả năng không ổn định nguồn.
• Lựa chọn lắp đặt đầu dò linh hoạt: Hiden ESPION có thể được gắn vào buồng plasma bằng mặt bích tương thích với chân không loại Conflat, KF hoặc tương tự. Tiêu chuẩn là mặt bích Conflat DN-35-CF (2¾ ”OD)

Các tính năng của bộ điều khiển Hiden ESPION

• Phần mềm ESPIONsoft Windows®: Điều khiển đầu dò trực tiếp từ máy tính tương thích PC với phần mềm ESPIONsoft Windows® cung cấp khả năng điều khiển đầu dò, thu thập dữ liệu, phân tích tự động, bán tự động và hiển thị xu hướng theo thời gian thực.
• Bộ truyền động tự động Z: Bộ truyền động Z tự động cung cấp độ chính xác và độ phân giải cao để lập bản đồ không gian của các thông số plasma quan trọng trên plasma lớn dưới sự điều khiển hoàn toàn của phần mềm.
• Chức năng tự làm sạch liên kết: Điện áp có thể thay đổi để làm sạch đầu dò bằng cách bắn phá electron hoặc ion. Thói quen làm sạch có thể lập trình như một tính năng tự động và có thể được thực hiện trước khi quét và trong khi quét.
• Mạch cổng tích hợp: Mạch cổng được tích hợp và điều khiển hoàn toàn bằng phần mềm với các tùy chọn trễ lập trình và tăng thời gian cho phép đo theo thời gian với độ phân giải cao.
• Đặc biệt được sử dụng trong hoạt động plasma xung hoặc nghiên cứu bóc tách laser.

Tính năng Thu Thập/Hiển Thị Dữ Liệu

Thu Thập/Kiểm Soát

• Thực hiện thu thập dữ liệu hoàn toàn tự động, không cần cài đặt các thông số thu thập trước.
• Kiểm soát hoàn toàn các thông số thu thập.
• Tự động lưu và gọi lại các công thức thu thập khác nhau.
• Các quá trình làm sạch liên quét tự động mạnh mẽ với chu kỳ hoạt động có thể điều chỉnh hoàn toàn.
• Kiểm soát tự động vị trí đầu dò bằng Bục Z truyền động tuyến tính (nếu có).
• Thu thập dữ liệu đa quét với hiển thị theo thời gian thực.
• Phân tích dữ liệu thu thập tự động theo thời gian thực với nhiều lý thuyết tiên tiến.
• Người dùng có thể chọn hiển thị các tham số plasma được phân tích theo thời gian hoặc vị trí đầu dò.
• Hiển thị bề mặt (3D) các tham số phân tích.
• Báo cáo xu hướng các tham số plasma được tính toán theo vị trí đầu dò và thời gian.

Hiển Thị/Xử Lý

• Phân tích dữ liệu tệp thủ công, bán tự động và hoàn toàn tự động.
• Các chức năng dữ liệu đầu dò plasma cụ thể để chiết xuất các tham số plasma.
• Hiển thị nhiều đồ thị – mọi kích thước.
• Mở nhiều tệp đồng thời.
• Các phép toán tiêu chuẩn trên các đường cong dữ liệu (cộng, trung bình, làm mịn, lấy đạo hàm).
• Các đường cong dữ liệu có thể được kết hợp toán học, bao gồm tính năng trung bình quét.
• Báo cáo từng quét các tham số plasma được tính toán, bao gồm thống kê phân tích, độ dốc và giao điểm.
• Xuất dữ liệu Dynamic Data Exchange (DDE) sang các ứng dụng Windows® khác.
• Nhập và phân tích các tệp dữ liệu ASCII X-Y, bao gồm cả những tệp thu thập trên các thiết bị khác.