Máy khối phổ ứng dụng trong lĩnh vực phân tích khí dư

Hệ thống phân tích khí dư (RGA) của hãng Hiden Analytical được phân phối độc quyền tại Việt Nam bởi công ty Reecotech là một máy khối phổ tứ cực, được thiết kế để phân tích loại khí bằng cách phân tích dữ liệu thu được theo thời gian thực để cung cấp cho người dùng thông tin dữ liệu cập nhật tức thời về tình trạng và dự đoán áp suất riêng phần của dư lượng khí trong chân không. Dữ liệu được sử dụng để phân tích môi trường, kiểm soát quá trình và giám sát ô nhiễm trong hệ thống chân không.

Hệ thống khối phổ phân tích khí dư có thể giám sát chất lượng chân không bằng cách phát hiện và đo vết tạp chất trong môi trường áp chân không. RGA được sử dụng làm thiết bị có độ nhạy cao để phát hiện khí rò rỉ.

RGA thường được gắn trực tiếp vào buồng chân không. Hệ thống thực hiện nhiều chức năng khác nhau mà các phương pháp phân tích khác khó làm được được bao gồm: phân tích các phản ứng xảy ra ở các pha khí khác nhau, giám sát những thay đổi xảy ra trong môi trường khí bất kỳ, phát hiện rò rỉ chân không và kiểm tra bộ điều khiển lưu lượng khối.

Nguyên lý hoạt động:

Thiết bị khối phổ phân tích khí dư xác định các thành phần hoá học của hỗn hợp khí trong buồng chân không bằng cách ion hoá các loại khí có mặt trong hỗn hợp để tạo ra cái ion sơ cấp trước khi xác định tỷ lệ m/z của chúng.

ỨNG DỤNG

• • Phân tích khí dư: Phân tích khí dư trong khoảng dải động lớn, tốc độ phân tích nhanh và cập nhật dữ liệu tức thời cung cấp khả năng phát hiện rò rỉ chân không, đo lường và giám sát chất lượng chân không, phát hiện rò rỉ ảo, nghiên cứu về khí thải và giám sát chu trình nung và bơm chân không.
  • Kiểm soát Chất lượng và Phân tích Đặc tính Hoá quá trình MBE: Kỹ thuật bốc nhiệt dùng chùm tia điện tử (Molecular beam epitaxy) chỉ có thể thực hiện trong môi trường chân không siêu cao, chất lượng màng mỏng và tốc độ tạo màng phụ thuộc nhiều vào độ tinh khiết của môi trường chân không. Hệ thống phân tích khí dư HALO 201 MBE được thiết kế để phân tích mức độ ô nhiễm chân không, và kiểm soát vùng ion hoá của đầu dò để ngăn chặn sự lắng đọng bề mặt ngẫu nhiên. Kết hợp với thiết bị theo dõi tốc độ lắng Hiden XBS để phân tích chùm tia phân tưr cà cung cấp tín hiệu để kiểu soát tốc độ lắng nguyên tử.
  • Nghiên cứu chùm tia phân tử: Máy khối phổ 3F Series 1000 RGA của Hiden trang bị bộ phát hiện đếm xung ion và cổng tín hiệu tích hợp cho phép phân tích chùm tia phân tử hiệu quả, đồng thời bộ phân tích chùm phân tử chéo cho phép phân tích chùm tia phân tử có độ nhạy cao và ngăn chặn sự nhiễm bẩn của bộ ion hoá và tứ cực từ các cặn khí ngưng tụ trong chùm tia.
  • Phân tích khí trong qui trình chân không cho ngưng đọng hơi hoá học (CVD), ngưng đọng hơi hoá học bằng phương pháp metalorganic (MOCVD) và màng mỏng nguyên tử (ALD): Là một kỹ thuật quan trọng hàng đầu trong quá trình chế tạo LEDs và LDs. Thiết bị phân tích khí dư của Hiden cung cấp thông tin về phản ứng khí trong quá trình giám sát, nghiên cứu động học phản ứng khí và đo thành phần khí trong qui trình sản xuất, giám sát các quá trình lắng đọng hơi hoá học.
  • Phân tích khí dư trong quá trình chân không: Hệ thống phân tích khí dư của Hiden Analytical dung để giám sát nghiêm ngặt quá trình xử lý chân không, cung cấp khả năng giám sát chính xác thành phần khí để cải thiện năng suất quy trình và chất lượng sản phẩm.