SIMS Workstation, UHV SIMS phân tích bề mặt màng mỏng, khối phổ ion thứ cấp tĩnh, thành phần theo chiều sâu và hình ảnh

Sản phẩm của hãng Hiden Analytical Ltd., UK. (website: http://www.hidenanalytical.com)
Phép trắc phổ khối ion thứ cấp (SIMS) là kỹ thuật phân tích bề mặt có độ nhạy cao nhất với giới hạn phát hiện nhiều nguyên tố đến hàm lượng ppb cùng khả năng phát hiện được tất cả các nguyên tố và đồng vị. Mẫu được bắn phá bởi một chùm ion trong điều kiện chân không siêu cao và vật liệu phún xạ, đặc tính của bề mặt được phân tích bởi khối phổ có độ nhạy cao.