(Sản phẩm của hãng Hiden Analytical Ltd., UK. http://www.hidenanalytical.com)
Thiết bị phân tích SIMS tứ cực MAXIM của Hiden là một trạng thái của máy khối phổ ion thứ cấp cho các ứng dụng SIMS động và tĩnh. Hệ thống bao gồm:
+ Bộ lọc năng lượng nguyên khối cho thu nhận ion tại 30o so với trục đầu dò
+ Bộ phận quang học ion thu SIMS truyền dẫn cao
+ Bộ lọc khối chập ba
+ Detector đếm ion xung động
+ Điện tử điều khiển sử dụng phân mềm máy tính Window MASSoft
MAXIM là thiết bị phân tích SIMS tứ cực dành cho hầu hết các ứng dụng phân tích nguyên tố nhạy
IMS – 3×106 cps/nA cho phún xạ 27Al+ từ bia Al bằng ion Ar+ 5 keV | |
SNMS – >80 cps/nA cho phún xạ 107Ag từ bia Ag bởi ion Ar+ 5 keV | |
Lựa chọn giới hạn phân tử khối | 300 amu, 500 amu hay 1000 amu |
Detector | detector đếm ion, phát hiện ion âm, dương, 107 cps |
Bộ lọc khối | bộ lọc khối chập ba |
Đường kính cọc | 9mm |
Nung chân không | 250oC |
Bộ lọc năng lượng ion | 30o |
Bộ phận ion hóa | Bắn phá electron, sợi đốt đơn cho SNMS và RGA |
Thiết bị được sử dụng trong:
+ CVD/ MOCVD/ ALCVD
+ Nanotechnology
+ Surface science and UHV surface science
+ Thin films and surface engineering