HPR 50, máy phân tích khí dành cho Diamond CVD

Một sản phẩm của Hiden Analytical Ltd., UK.
Phân tích hàm lượng dưới ppm cho tất cả các thành phần có mặt hay thoát ra trong quá trình hình thành kim cương.
+ CVD
+ PECVD
+ Giám sát thời gian thực on-line/kiểm soát quá trình
+ Các nghiên cứu sự ô nhiễm
+ Phân tích sản phẩm phụ
+ Cho việc cải thiện khả năng tái chế/ chất lượng sản phẩm
Máy khối phổ phân tích dòng HPR – 50, một hệ thống phân tích khí chuyên dụng, thiết kế riêng cho việc giám sát quá trình hình thành kim cương, với các tính năng:
+ Độ nhạy cao (5 ppb), dải đo khối lượng tùy chọn lên đến 2500 amu
+ Đầu dẫn trơ, nhiệt độ cao cho mô tả đặc điểm của các sản phẩm/ thành phần trung gian phản ứng
+ Bề mặt lạnh – Cryopanel N₂ lỏng tối ưu hóa chân không/tối thiểu hóa giao thoa quang phổ
+ Áp kế – Penning Gauge và khóa liên động bảo vệ quá áp
+ Áp suất lấy mẫu từ 20 – 400 Torr
+ Độ ổn định (<±0.5% biến đổi độ cao hơn 24h)
+ Kiểm soát phần mềm điều khiển Massoft thông qua RS232, RS485 và ENthernet LAN
+ Ion hóa mềm cho phân tích các hợp chất hữu cơ phức tạp/các nghiên cứu MS Appearance