EQP – Hệ thống phân tích các ion âm và ion dương, tiểu phân trung tính và các gốc tự do

Hệ thống là một công cụ mô tả đặc tính  plasma – được thiết kế để giúp các kỹ sư phát triển quá trình và kỹ thuật viên nghiên cứu cho tối ưu hóa các điều kiện plasma để sản xuất, chế tạo các thiết bị mới lạ. EQP là một hệ thống chân không kết hợp máy khối phổ tứ cực cùng với bộ phận kích thích năng lượng có độ phân giải cao, cho thu mẫu trung hòa, gốc tự do, ion âm/dương từ hệ thống plasma thông qua một khe hở xác định tương xứng với áp suất trong hệ plasma của khách hàng với áp lực tối ưu, điều mà thiết bị cần để hoạt động một cách chính xác.