Bộ thiết bị DLS-1 Phân tích khí dư

  • Chẩn đoán chân không
  • Phân tích sự ô nhiễm
  • Phát hiện rò rỉ
  • Sản xuất chất bán dẫn
  • Phân tích quá trình chân không.
  • Kiểm soát vòng lặp khép kín phún xạ phản ứng
  • Giám sát lò nung chân không
  • Các nghiên cứu chùm phân tử
  • Khoa học bề mặt UHV/XHV
    + UHV TPD