Bộ sản phẩm HPR 30, xử lí và phân tích khí dư

(Sản phẩm của hãng Hiden Analytical Ltd., UK. Website:  http://www.hidenanalytical.com)
Bộ sản phẩm HPR 30 của Hiden là thiết bị phân tích khí kiểm soát quá trình với hiệu suất cao dành cho các phép quan trắc theo trình tự mảng mỏng, plasma và chân không.
Dành cho việc kiểm tra tất cả các thành phần có mặt trong khoang rỗng hoặc thoát ra từ hệ thống:
+  CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
+  Xi mạ chân không/khắc plasma
+  Lắng đọng phún xạ
+  Khảo sát ô nhiễm
+  Base Pressure Fingerprint
+  Phát hiện rò rỉ/lỗ rò ảo/giải hấp
+  Hiệu suất bơm /nhả khí/nung chân không
+  Khoang rỗng/tạp chất khí quá trình