Home / Sản Phẩm / Đo đạc, phân tích Vật liệu / Nghiên cứu và chuẩn đoán plasma / EQP – Hệ thống phân tích các ion âm và ion dương, tiểu phân trung tính và các gốc tự do

EQP – Hệ thống phân tích các ion âm và ion dương, tiểu phân trung tính và các gốc tự do

This post is also available in: enEnglish

(Sản phẩm của Hiden Analytical Ltd., UK)
Thiết bị EQP Hiden là sự kết hợp phân tích năng lượng/ khối lượng các ion âm, ion dương, phân tử trung hòa và gốc tự do trong quá trình plasma. Hệ thống chuyên dùng cho các ứng dụng plasma bao gồm: sự ăn mòn, kết tủa, tạo màng và khai triển quá trình.
Hệ thống là một công cụ mô tả đặc tính  plasma – được thiết kế để giúp các kỹ sư phát triển quá trình và kỹ thuật viên nghiên cứu cho tối ưu hóa các điều kiện plasma để sản xuất, chế tạo các thiết bị mới lạ. EQP là một hệ thống chân không kết hợp máy khối phổ tứ cực cùng với bộ phận kích thích năng lượng có độ phân giải cao, cho thu mẫu trung hòa, gốc tự do, ion âm/dương từ hệ thống plasma thông qua một khe hở xác định tương xứng với áp suất trong hệ plasma của khách hàng với áp lực tối ưu, điều mà thiết bị cần để hoạt động một cách chính xác.
EQP được sử dụng trong hàng loạt các ứng dụng hỗ trợ plasma bao gồm phát triển công cụ xử lý và khảo sát vật liệu cho các thiết bị như chất bán dẫn,  quang điện, cảm biến từ tính – điện trở.  Quan tâm đặc biệt là các quá trình sửa đổi đặc tính bề mặt của vật liệu và hiểu rõ hơn về cơ chế, nhờ đó mà các vật liệu có thể được đặt trên các chất nền.

  • Ứng dụng
  • Video 
  • Brochure

Leave a Reply

Your email address will not be published. Required fields are marked *